君特催化可提供電子級氣體純化設備和裝置：如氮氫氧氬氦氖等氣體純化器，精度可達7N-9N；該系列氣體純化器廣泛應用于半導體、LED/激光、太陽能光伏行業(yè)、光纖行業(yè)、氣體行業(yè)、冷軋行業(yè)等。君特催化的氣體純化器穩(wěn)定性高，技術可靠，具有較高的性價比。
詳細參數(shù)：
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名稱 |
氮氣純化器 |
氬氣/氦氣
純化器 |
二氧化碳純化器 |
氫氣純化器 |
氧氣純化器 |
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型號 |
JTC-GN |
JTC-GAR/GHE |
JTC-GC |
JTC-GH |
JTC-GO |
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適用氣體 |
N2 |
Ar/He |
CO2 |
H2 |
O2 |
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工藝 |
催化+吸附 |
吸附+Getter |
催化+吸附 |
吸附+Getter |
催化+吸附 |
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標準流量，Nm3/h |
10-20000 |
10-300 |
10-20000 |
10-300 |
10-10000 |
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出口雜質(zhì)，ppb |
O2 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
— |
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H2O |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CO |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CO2 |
<1 |
<1 |
— |
<1 |
<1 |
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H2 |
<1 |
<1 |
<1 |
— |
<1 |
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NMHC |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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CH4 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
<1 |
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N2 |
— |
<1 |
— |
<1 |
— |
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Particles |
≤10pcs/ m3，≥0.003μm |
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